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존 플레이트 나노구조의 제어된 전기도금을 위한 소형 아황산염 기반 금욕
Miniaturized Sulfite-Based Gold Bath for Controlled Electroplating of Zone Plate Nanostructures

등록 : 2022.07.06 ⋅ 17회 인용

출처 : micromachines, 13권 2022년, 영어 9 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 금은/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.07.07
금으로 만든 X선 존 플레이트는 X선 영상 실험에 사용되는 일반적인 광학 부품이다. 일반적으로 전자빔 리소그래피와 시안화욕을 사용한 금 전기도금으로 제작된다. 소형화된 금-아황산욕에서 금 전기도금 공정을 실험하였다. 잘 정의된 크기의 온칩 기준 소형 도금 영역으로 가능하며, 제작된 골드 존 플레이트는 싱크로트...
  • 메탄설폰산 ^ MethanSulphonic acid (MSA) CAS 75-75-2 CH4 O3 S = 96.1 g/㏖ 무색의 약한점성 액상 70% 용해물 알코올, 에텔에 용해, 알칼리, 벤젠 톨루엔에 불용, 금속에 ...
  • 저항체로서의 특성향상을 목적으로, 부도체표면상에 도금피막을 형성하는 무전해 니켈-붕소 Ni-B를 매트릭스로서, 여기에 크롬분말을 분산한 무전해 복합도금에 관하여 검토...
  • 도금막의 미세구조를 도금막의 단면방량으로 투과전자현미경으로 관차하고, 소지와 도금막과의 계면 형태를 직접관찰하고, 소지와 도금막과의 결정학적 정합형태에 관하여 소개
  • 다양한 종류의 유기염을 포함하는 무전해니켈도금욕에서 얻은 니켈도금막의 인함량을 측정하였다. 동일한 조성 (그러나 다른 pH 값) 의 도금조와 다른 인함량을 갖는 무...
  • 전기접촉저항을 낮추기 위하여 전기부품에 은도금을 합니다. 손으로 만진후 트리크로로에칠렌 증기 세척하는 경우, 용액중의 염소이온이 함유된 이유로 은 표면에 염화은의 ...