로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 Yuji SHIMADA 2건

습식도금 자료분류

자료수 10977 건

추천글

Tag LIST

초임계 유체중 아닐에 의한 구리도금막의 개질
Improvement of electrodeposited Copper Films by Annealing in SUpercritical Fluid

등록 : 2012.07.06 ⋅ 39회 인용

출처 : 표면기술, 61권 8호 2010년, 일어 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Kazuyoshi UENO1) Yuji SHIMADA2) Yoshinori AOKI3) Shigeru YOMOGIDA4) Seishi AKAHORI5) Tomohiko YAMAMOTO6) Takamasa YAMAGUCHI7) AKIKO MATSUYAMA8) Takashi YATA9) Hideo HASHIMOTO10)

기타 :

超臨界流体中アニールによるめっき銅膜の改質

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.10
입계 산란을 줄이기 위해서는 입계의 감소 즉 입자 크기의 확대가 유효하다고 생각된다. 구리 배선에 사용되는 구리는 황산 구리도금욕을 이용한 전기도금에 의해 도금된다. 도금액에 포함된 미세패턴에 보이드 없는 첨가제로서 억제제나 촉진제 등의 유기분자가 첨가되어 있다. 이러한 유기분자는 도금막 중에 흡수되어 도...
  • 과전압 · Overvoltage [분해전압]은 동일한 금속염의 용액에 있어서도 전극의 재질, 전극면의 평활상태ㆍ온도ㆍ전류밀도 등에 따라 다르며, 이론적인 석출최소 전압보다 크...
  • 도금액의 조성변화의 관리와 아노드의 관리는 매우 중요하다. 도금에 있어서 아노드의 거동을 니켈도금의 예로 설명
  • SiC 입자/ Ni-P 계 복합도금을 예로, 그 성막과정만이 아니라, 전처리에도 다른 크기의 SiC 조립자가 공존하는 무전액 흡류를 적용하여, 전도금공정을 간소화할 목적으로 하...
  • 붕불화 구리도금욕 ^ Copper Fluoloborate Plating bath 황산구리욕보다 용해성이 좋아 고전류 고속도금을 할 수 있으나 사용하기 위험하며 불소이온 함유로 폐기물 처리가 ...
  • HyProTri Yellow 는 2 액성 1공정의 3가 황색 크로메이트제로, 염수분부시험 120시간 이상을 만족합니다.