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프래시 전해연마를 이용한 FIB 시료제작
FIB Sample Preparation Using Flash Electropolishing
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플래시 전해연마 (단시간의 전해 연마) FIB 시료에 형성된 데미지를 제거할 수 없는지 평가하였으며, 평가에서 사용한 시료는 미리 표면에 중 이온 조사를 실시한 지르코늄 합금이다. 본 보고에서는 실패예를 포함한 일련의 평가에 대해 소개하였다.
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