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고급 금속 상호 연결을 위한 루테늄의 무전해 석출 : 알칼리성 및 산성 용액의 특성
Electroless deposition of ruthenium for advanced metal interconnects : Characterization of an alkaline and acidic bath

등록 2023.12.13 ⋅ 57회 인용

출처 POLITECNICO DI MILANO, Year 2016-2017, 영어 103 쪽

분류 학위논문

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자료요약
카테고리 : 무전해도금기타 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.12.13
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