로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 피리딘 4건
초박형 플라즈마 보조 원자층 석출 팔라듐층을 갖춘 내화성 및 귀금속 소재의 무전해 구리
Electroless copper on refractory and noble metal substrates with an ultra-thin plasma-assisted atomic layer deposited palladium layer

등록 : 2024.06.15 ⋅ 39회 인용

출처 : Electrochimica Acta, 2005년, 영어 7 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Young-Soon Kim1) Hyung-Il Kim2) Joong-Hee Cho3) Hyung-Kee Seo4) M.A. Dara5) Hyung-Shik Shin6) Gregory A. Ten Eyck7) Toh-Ming Lub8) Jay J. Senkevich9)

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅ ⋅ ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2024.06.15
무전해 Cu는 고급 통합 장치의 잠재적인 BEOL (back-end-of-the-line) 금속화를 위해 플라즈마 보조 원자층 증착 팔라듐 층을 갖춘 내화 금속, WandTaNX 및 Ir 귀금속 기판에 대해 조사하였다. 나트륨 및 칼륨이 없는 Cu 무전해욕은 킬레이트제인 에틸렌디아민 테트라아세트산(EDTA), 환원제인 글리옥실산, 계면활성제인 폴...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 비 씨드형 유동층 과립화 공정에 의한 시뮬레이션된 무전해 구리 도금 수세수에 대한 구리회수에 대한 EDTA 및 CH2O의 효과
  2. 도금기술노트.. EDTACu
  3. 도금기술노트.. 무전해구리착화제
  4. 연구문헌자료.. 폴리도파민 코팅 및 은 촉매에 의한 셀룰로오스 종이의 구리 무전해 금속화
  5. 연구문헌자료.. Pd/Sn 콜로이드 활성화를 통한 ULSI 인터커넥트 제조를 위한 TiN의 무전해 Cu 석출 공정
  6. 연구문헌자료.. 구연산 이온을 함유한 산성욕에서 전착에 의한 Zn-Fe 및 Zn-Fe-Co 합금 피막의 연구
  7. 연구문헌자료.. 자동촉매 포름알데히드 프리 무전해 구리 도금 공정용 화학 킥 스타트 kick start
  8. 연구문헌자료.. EDTA 욕에서 무전해 구리 석출에 대한 이성체 디피리딜의 효과
  9. 연구문헌자료.. 팔라듐 활성화에 대한 비용 효율적인 대안 – 자동촉매 무전해 구리 석출에 대한 연구
  10. 연구문헌자료.. 3.5 wt% NaCl 용액에 EDTA 안정조가 포함된 전착된 Zn-Ni 합금 필름의 전기화학적 분석