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MEMS / Nano Electro Mechanical SYstems
MEMS / Nano Electro Mechanical SYstems

등록 2008.10.05 ⋅ 71회 인용

출처 한국과학기술정보연구원, n/a, 한글 34 페이지

분류 연구논문

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자료요약
카테고리 : 기술자료기타 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2012.08.04
NEMS 기술의 개요와 특성을 소개하고, 관련 소자기술과 공정 및 장비기술에 대한 전반적인 현황을 살펴본 후, 국내외 기술과 시장의 현황을 살펴봄으로써 관련 분야의 전반적 기술동향을 파악하고자 한다.

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