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구리 전기도금의 표면처리 최적화
Optimized surface pretreatment for copper electroplating

등록 2012.11.06 ⋅ 67회 인용

출처 Apploed Surface Science, 183rnjs 2001sus, 영어 8 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 건식도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.02.16
구리 전기도금 전에 구리 스퍼터 코팅된 TiN/Si (100) 에서 표면 천연산화물을 제거하는 기존 전처리 시스템의 능력을 조사했다. 구리 시드층에 있는 구리산화물은 표면전처리 공정에 의해 제거되어 균일하고 매끄러운 전기도금된 구리가 생성되었다. 시트 저항측정 및 AFM 분석은 1 : 200 NH4OH 용액을 사용하는 wer-cleani...
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