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다층막의 응력
Internal stress in multilayered thin film

등록 : 2010.02.09 ⋅ 34회 인용

출처 : 표면기술, 51권 4호 2000년, 일어 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2014.07.15
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