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다층막의 응력
Internal stress in multilayered thin film

등록 2010.02.09 ⋅ 37회 인용

출처 표면기술, 51권 4호 2000년, 일어 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2014.07.15
스퍼터링법으로 만든 다층구조박막에 있어서 내부응력의 발생에 관하여, 다층구조화에 의한 고경도화 및 미소경도 시험과정에 있어서 응력응답 특이성에 관한 해설
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