로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 Kazuyoshi UENO 3건

습식도금 자료분류

자료수 10977 건

추천글

Tag LIST

반도체집적회로의 배선에 사용하는 구리도금막의 불순물
Inpurities in electroplated copper films for LSI interconnection

등록 : 2012.12.04 ⋅ 9회 인용

출처 : 표면기술, 63권 4호 2012년, 일어 6 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

半導体集積回路の配線に用いる銅めっき膜の不純物

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2016.03.20
미세배선에 이용되는 구리도금막에 관하여, 피막중의 불순물과 그들의 영향에 관하여 설명

연관글

  1. 연구문헌자료.. 고급 포장용 전기 도금 구리 첨가제 : 리뷰
  2. 연구문헌자료.. 황산구리 수용액에서의 유속에 따른 구리 석출 형태 연구
  3. 도금기술노트.. 동도금
  4. 연구문헌자료.. 구리전해도금에서 폴리에틸렌글리콜(polyethylene glycol)의 영향 연구
  5. 연구문헌자료.. HEDP 구리 도금욕의 특성에 대한 첨가제의 효과
  6. 연구문헌자료.. 칩 제조에 있어서 구리 전기도금 첨가제의 연구 진행
  7. 연구문헌자료.. 새로운 유형의 저분자 전기도금 구리 레벨링제에 대한 시뮬레이션 연구
  8. 도금기술노트.. 붕불화구리도금
  9. 연구문헌자료.. 유기 첨가제 존재에 있어서 구리 전착의 초기 단계
  10. 연구문헌자료.. Autolab RRDE를 사용한 구리 전착의 중간체 조사
  • 트리-n- 옥틸아민 (Tri-n- Octylamine) 을 운반체로 W/O/W 유화액막을 제조하여 계면활성제 (Span 80) 의 농도와 막강화제의 농도를 변화시켜 액막의 안정성을 조사하고, 폐...
  • - 코로트리 실은 2액 형의 공정이며 본 제품에는 6가 크롬이 전혀 함유되어 있지 않다. - 코로트리 실은 3가 크롬을 사용한 3가 흑색 크로메이트용 마무리제 이다. - 코로트...
  • 421 Liquid Tin은 두꺼운 주석 도금층으로 구리 트레이스 및 납땜 도금을 피복하도록 설계된 투명한 침지 주석 도금액이다. 도금된 주석은 쉽게 납땜 할수 있으며 부식으로...
  • 열처리 ㆍ Heat Treatment 철강류를 가열과 냉각을 통하여 기계적 성질을 개선시키는 것을 말하며, 보통 담금질 (Quenching) 불림 (Normalizing) 뜨임 (Tempering) 풀림 (An...
  • 무전해 니켈도금 피막의 특성을 기능면으로 분류하는 한편, 무전해 니켈도금을 니켈-인 도금의 인함유량의 다소, 니켈-붕소도금, 콤포지트도금 및 다원 합금도금으로 분류하...