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도금욕관리의 새로운 방향 : 멀티타스크 전기화학 프로브를 사용한 전기도금욕 -건전성의 고속 자기진단법
New Directions in plating bath control : Fast atomated diagnosis of electroplating bath

등록 2013.06.08 ⋅ 27회 인용

출처 표면기술, 63권 9호 2012년, 일어 5 쪽

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めっき浴管理の新しい方向性：マルチタスク電気化学プローブを使用した電気めっき浴 “健全性”の高速自動診断法

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.10
계측된 샘플욕의 형태가, 프로세스 억제의 관점에서 정상으로 도금이 가능한 범위에 속하거나, 아니면 염화물 이온농도의 저하나 오염물질 소위 2차적으로 생성된 서프레서의 존재에 의한 아우트라인에 속하는가를 판단 할수있는 분석모델의 개발과 그 트레이닝에 관점을 둔 연구
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