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환원제로 Co(ii)-에틸렌디아민에 대한 구리박막 기반의 전해 석출의 자기 아니링 효과
Self-annealing effect of electrolessly deposited copper thin films based on Co(2)-ethylenediamine as a reducing agent

등록 2008.08.16 ⋅ 60회 인용

출처 na, na, 영어 10 쪽

분류 해설

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저자

기타

ethylenediamine

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2022.02.10
블랭킷 TiN 웨이퍼에 무전해 도금된 구리 피막의 자체 어닐링에 대한 연구가 다양한 두께에 대해 수행되었다. 100-260 nm 두께의 구리 필름의 시트 저항은 자체 어닐링에 의해 80-90 % 감소했습니다. (111) 배향 및 입자 성장의 향상을 포함한 미세구조의 변화를 조사했다. 염소 고정자가 어닐링에 영향을 미치는 것으로 분...

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