전기구리도금에 의한 비아필링에 있어서 신규첨가제의 검토
여러 가지도금액, 아노드종류에 대응 가능한 첨가제의 개발 목적으로, 종래에 캐리어로 사용되고 있는 PEG에 각종 관능기를 도입한 새로운첨가제를 합성하여, 신규첨가제의 유효성, 석출구리피막 및 구리 석출반응의 영향을 검토 [電気銅めっきによるビアフィリングにおける新規添加剤の検討]
구리/합금
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JIEP · 18권 SPACE 2004년 · Shingo Watanabe ·
Hiroki Nagashima
참조 41회
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