구리 트렌치 미세구조에 대한 유기 첨가제의 영향
유기 첨가제는 일반적으로 높은 종횡비 장점을 필링 보이드 형성을 방지하기 위해 구리 (Cu) 에 펄스 전착이 사용된다. 유기 첨가제에 의해 수정된 도금액의 화학 역할이 구리 Cu 트렌치 미세 구조에 미치는 영향에 대해 조사하였다. 폴리에틸렌 글리콜 (PEG), 비스(3-설포프로필) 이황화물 (SPS) 및 야...
구리/합금
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Electrochemical Society · 164권 9호 2017년 · James B. Marro ·
Chukwudi A. Okoro
외 ..
참조 22회
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