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실리콘 에칭 기술
silicon etching technologyes

등록 2008.09.24 ⋅ 61회 인용

출처 표면기술, 51권 8호 2000년, 일본어 6 페이지

분류 연구논문

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2012.08.07
마이크로마신의 제작기술로서 실리콘 에칭기술을 설명하고, 단결정 실리콘의 성질을 응용한 결정이반성 에칭에 관하여, 지금까지의 연구현황을 설명