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실리콘 에칭 기술
silicon etching technologyes

등록 : 2008.09.24 ⋅ 57회 인용

출처 : 표면기술, 51권 8호 2000년, 일본어 6 페이지

분류 : 연구논문

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2012.08.07
마이크로마신의 제작기술로서 실리콘 에칭기술을 설명하고, 단결정 실리콘의 성질을 응용한 결정이반성 에칭에 관하여, 지금까지의 연구현황을 설명
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  • 표면장력 요구 사항은 미국 환경보호국 (EPA)의 Chromium MACT에 기록되었다. 크롬도금 과정에서 생성된 가스 거품이 탱크 액표면으로 올라와 파열되기 때문이다. 파열된 작...