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초미세 구리 Cu 배선의 미세구조와 저항율에 있어서 황산구리 순도의 영향
Effect of the Purity of the Copper Sulfate on the Microstructure and Resistivity of Very Narrow Cu Wires

등록 2014.06.24 ⋅ 19회 인용

출처 금속학회지, 75권 4호 2011년, 일어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.25
순도가 다른 2종류의 황산구리로 건욕된 도금욕과 공칭순도 4N의 함인 구리양극을 이용한 구리배선을 형성하고, 배선저항율에 있어서 황산구리의 순도 영향을 밝히고, 각각 재료의 효과와 저항율 저감 메카니즘을 검토
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