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알칼리 전해욕 착화에서 상향식 구리 도금의 첨가제
Additives for Bottom-up Copper Plating from an Alkaline Complexed Electrolyte

등록 : 2018.02.05 ⋅ 37회 인용

출처 : Electrochemical Society, 160권 12호 2013년, 영어 3 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.03.13
버텀업 충전제를 제공하는 첨가제가 포함된 알칼리성 타르트레이트 복합구리 도금액을 설명하였다. 버텀업 필링은 비스 -(3-설포프로필) 이황화물 (SPS) 과 폴리에틸렌이민 (PEI) 의 두가지 첨가제의 혼합물을 사용하여 만들어진다. 크로로 포텐시오미터 연구에 따르면 기존의 산성도금액과 달리 SPS 는 '억제제' 역할을 하...
  • 발명의 주석-은-구리 Sn-Ag-Cu 삼원합금 박막을 형성하는 방법은 전기도금에 의해 삼원합금 박막을 형성한다. 도금욕은 Sn 화합물, Ag 화합물, Cu 화합물, 무기 킬레이트제 ...
  • 지금과 양극산화 피막의 경도가 다름에 기인하여 만들어진 지금내부 피막의 압축시험으로 관찰한 결과에 관한 기초적 거동을 고찰
  • CMP 를 대체하는 새로운 기술로서 자기연마법에 착안하여, 이를 이용한 새로운 자성연마의 개발을 목적으로한 실험
  • 노르말 농도 ㆍ Normality 많은 물질이 1:1 몰비로 반응하지 않으므로 같은 몰 농도의 용액이 반응할 때의 부피는 1:1 이 아니다. 이때 당량과 노르말 농도의 개념을 도입하...
  • 수산화나트륨 (가성소다) ^ Sodium Hydroxide (NaOH) NaOH = 39.997 g/mol 물, 에탄올, 메탄올에 용해 밀도: 2.13 g/cm³ 강알칼리성으로 도금욕 조성ㆍ세척제ㆍ탈지제ㆍpH ...