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합성 석영소재 포토마스킹의 습식에칭의 적용
Wet Etching of Synthetic Quartz Substrate for Photomask Application

등록 : 2014.09.10 ⋅ 15회 인용

출처 : 표면기술, 55권 8호 2004년, 일어 6 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

合成石英基板フォトマスクへの湿式エッチングの適用

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분류 :
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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2020.12.14
글라스 소재를 에칭시 노광광에 위상차를 가진 특수한 레벤손형 위상 시프트 기술중, 웨트 에칭에 의한 패턴 프로필의 형성제어가 불가능하여, 포토에칭을 사용한 첨단 포토 마스크제조의 현황에 관하여 소개하였다.
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