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Modern Electroplating (28) 미소 전기화학 시스템
Microelectrochemical Systems

등록 : 2012.07.23 ⋅ 93회 인용

출처 : Modern Electroplating, Fifth Edition 2010, 영어 20 쪽

분류 : 교재

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자료요약
카테고리 : 기술자료기타 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.11
자동차 에어백 시스템용 가속도계, 압력 감지용 실리콘 다이어프램, 잉크젯 프린터 헤드, 프로젝션 디스플레이용 디지털 마이크로미러 장치 등 여러 MEMS 장치가 이미 시장에 나와 있다. 더 많은 것이 개발의 고급 단계에 있으며 수많은 시스템이 개발 또는 설계되고 있다. 가장 최근에, 미세유체 시스템은 생물의학 및 미세...

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