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단결정 실리콘사에 무전해 치환 석출된 백금 미립자의 수 밀도
Particle Density of Pt produced by Electroless Displacement Deposition on Single-Crystalline Silicon

등록 2015.10.23 ⋅ 19회 인용

출처 표면기술, 65권 10호 2014년, 일어 4 쪽

분류 연구

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기타

単結晶シリコン上へ無電解置換析出する白金微粒子の数密度

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.12.23
석출입자수 밀도의 변화가 큰 백금 Pt 를 선별하여, 3 종류의 방법으로 전처리한 실리콘 Si 에의 무전해치환 석출에 관하여, 석출시간과 Pt 입자수 밀도의 관계를 조사
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  • 매립형 임베디드 회로는 유전체 안에 회로를 삽입하는 것을 특징으로 하기 때문에 부드러운 유전체 표면을 구현하고 부드러운 전도성 표면을 제작하는 것이 필요하다. 또한 ...
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