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MEMS 니켈 전기도금 1/2/3
MEMS Nickel electroplating

등록 : 2009.03.11 ⋅ 36회 인용

출처 : Phicom, na, 한글 8 쪽

분류 : 기타

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 니켈/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.01.02
MEMS는 Micro Electro Mechanical System을 일컫는 말로써 Micro 크기의 전기적 힘에 해 기계적 구동이 가능한 장치의 총칭이다. MEMS 의 응용분야는 Sensor 나 Actuator, 기적 구조물과 우주항공 및 의학분야 까지 그 범위가 확대되고 있다. 최근에는 이런 EMS 제작기술의 하나인 LIGA와 LIGA-Like 공정에서 전기도금을...

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