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구리도금욕에 있어서 광택제(억제제) 고장 불순물의 검출
Detection of suppressor breakdown conataminants in copper plating bath

등록 2009.09.02 ⋅ 59회 인용

출처 Electrochem, na, 영어 1 쪽

분류 해설

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.07
황산구리도금욕은 반도체칩의 유전체재료에 있는 미세 트렌치와 비아내에 구리를 전착시키기 위해 다마신 (Damascene) 공정에 사용된다. Damascene 기능을 상향식으로 채우려면 두 가지 유기첨가제가 필요 하다. 일반적으로 고 분자량 (MW) 폴리에틸렌글리콜 (PEG) 인 "억제제" 첨가제는 염화물이온의 존재하에 구리...
  • 1840년 금 Au 과 은 Ag 도금의 성공적인 개발로 많은 과학자들이 백금과 팔라듐의 전착에 관심을 기울 였지만 상업적으로 만족스러운 공정이 확립되기 전에 그들은 양극의 ...
  • 물, 니켈이온, 니켈이온을 금속으로 환원시키기 위한 환원제 및 환원제의 작동속도를 제어하기위한 안정화제를 포함하는 열변형이 없는 제품, 특히 플라스틱 제품에 니켈도...
  • 도금피막의 경도를 가지고, 경도에 있어서 도금조건 조성 피막구조에 관하여, 내마모성과 윤할성에의 적용에 관하여 소개
  • 현재 밀도의 함수로 도금화학을 평가하기 위해 수년 동안 산업산업에 재현 불가능한 질량 전달로 인해 헐셀 Hull Cell은 공정제어를 위해 질적으로 만 사용할수 있다.
  • 트리에틸렌테트라민 용액에서 납을 도금할 수 있는 가능성을 보고하였다. 아민으로부터 금속을 회수하기 위해 이산화탄소로 퍼징하여 탄산납 침전을 일으키는 것을 기반으로...