도금 첨가제 제조 원료약품 - 전기화학 임피던스 분광학에 의한 다마신 공정 조사에 있어서 양극의 영향

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 10998건

전기화학 임피던스 분광학에 의한 다마신 공정 조사에 있어서 양극의 영향

Influence of the anode in the damascene process investigated by electrochemical impedance spectroscopy

등록 : 2011.08.02 ⋅ 65회 인용

출처 : NA, NA, 영어 9 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

자료 :

자료요약

카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.21

이중다마신 구리전기도금은 공통적으로 집적회로에서 구리 내부회로에 사용된다. 일반원리는 구리아노드를 사용한 도금액으로, 황산, 황산구리, 염화물 그리고 여러가지 첨가제로 광택제/가속제, 캐리어/감속제, 레벨러 등의 고속필링제가 사용된다.

연관글

Niflor / 테프론 무전해 니켈도금

나이플로는 미크론 단위의 PTFE(테프론) 입자를 자동촉매화되는 니켈-인과 함께 금속 및 금속합금에 도금하는 표면처리이다. 매우 정밀하고 건식상태에서 윤활성 이 좋으며 ...
광택 황산동 도금의 밀착불량

동소지위의 시안화동 스트라이크도금후 광택산성동 도금하였으나 동스트라이크위의 황산동도금의 밀착불량이 발생하였습니다. 원인은 무엇 입니까.
높은 기술적 성능과 상당한 비용 절감 이점을 결합한 혁신적인 주석 공정.

새로운 순수 주석 MSA 공정인 Niveostan ™ 은 뛰어난 기술 성능과 상당한 비용 절감 이점을 위해 UV로 쉽게 분석할 수 있는 단일 첨가제를 기반으로 개발되었다. 첨가제는 S...
환원제를 전해재생하는 무전해 니켈도금법의 개발 - Ti(iv)이온의 전해환원-

무전해 니켈도금에 사용되는 구연산 3-소다와 니트릴 3-작산을 착화제로한 Ti(iv)이온에 관하여, 전해환원에 의한 Ti(iii) 이온의 재생에 관한 실험적 검토
무전해니켈도금

안녕하십니까? 도금에 대해서 질문 드립니다. 저희가 사용하는 소재는 SK3 입니다. 소재에 대한 질문 보다는 도금 공정상에 있어 질문 드립니다. 1. 소재에 가공을 하고 열...