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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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전기화학 임피던스 분광학에 의한 다마신 공정 조사에 있어서 양극의 영향
Influence of the anode in the damascene process investigated by electrochemical impedance spectroscopy

등록 : 2011.08.02 ⋅ 61회 인용

출처 : NA, NA, 영어 9 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.21
이중다마신 구리전기도금은 공통적으로 집적회로에서 구리 내부회로에 사용된다. 일반원리는 구리아노드를 사용한 도금액으로, 황산, 황산구리, 염화물 그리고 여러가지 첨가제로 광택제/가속제, 캐리어/감속제, 레벨러 등의 고속필링제가 사용된다.