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표면처리피막의 경도측정
Hardness measurement of thin film formed by surface treatment

등록 2008.09.10 ⋅ 82회 인용

출처 실무표면기술, 38권 8호 1987년, 일어 8 쪽

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.12.03
표면처리피막의 경도측정의 필요성이 증가하고 있으나, 피막의 측정이 곤란한 경우가 많아. 이들의 문제점을 검토하여, 실용적 측정예와 경도, 성질과의 관련성에 관한 설명
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  • 구리금속배선의 물리적 특성과 전기적 특성의 상관관계에 대한 연구가 충분하지 않아, 전기도금된 구리박막 의 비저항에 대하여 전해액이 미치는 영향을 조사
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