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Si 웨이퍼상의 무전해니켈 도금에 있어서 자외선조사 효과
The effect of UV-Irradiation on electroless plating of Nii onto Si wafer

등록 : 2008.08.03 ⋅ 50회 인용

출처 : 표면기술, 42권 호 1991년, 일어 2 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 니켈/Ni | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.22
Si 웨이퍼상의 무전해 니켈 Ni 도금에서 UV 광을 조사하고, 도금에 주는 광조사효과에 대하여 검토
  • 코발트, 니켈등의 강자성체를 전착한 전해욕을 사용하여, 자장중의 2차전해를 한 그 결과를 검토
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  • 포름산을 환원제로하여 에틸렌디아민 착화욕에서 무전해팔라듐의 석출량 및 소름산의 소비량을 측정하고 석출기구를 검토