도금 첨가제 제조 원료약품 - Si 웨이퍼상의 무전해니켈 도금에 있어서 자외선조사 효과

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Si 웨이퍼상의 무전해니켈 도금에 있어서 자외선조사 효과

The effect of UV-Irradiation on electroless plating of Nii onto Si wafer

등록 2008.08.03 ⋅ 55회 인용

출처 표면기술, 42권 호 1991년, 일어 2 쪽

분류 연구

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저자

Yutaka ISHIKAWA¹⁾ Ichiro NAKAMICHI²⁾

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분류 자외선조사 ⋅ 웨이퍼 ⋅

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자료요약

카테고리 : 니켈/Ni | 글입력 : 무대뽀 | 최종수정일 : 2021.01.22

Si 웨이퍼상의 무전해 니켈 Ni 도금에서 UV 광을 조사하고, 도금에 주는 광조사효과에 대하여 검토

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