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웨이퍼 수율증가 도금첨가제의 자동 온라인 관리
Automated online control of plating bath additives increases wafer yield

등록 2008.09.24 ⋅ 53회 인용

출처 na, Web, 영어 5 쪽

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자료요약
카테고리 : 응용도금 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.09
CVS (cyclic voltammetric stripping)를 기반으로한 새로운 세대의 다마신 구리 도금액 온라인 분석기는 소재의 수율 향상을 제공할수 있다. μm 미만의 고 종횡비 구조를 빈공간 없이 채우는데 일반적으로 요구되는 엄격한 공정은 첨가제를 좁은 범위내에서 유지하는 것이 중요하다. 이 문제는 정기적으로 도금탱크를 샘플링...
  • 니켈 전주도금 ^ Nickel Electroforming 니켈전주 도금은 니켈 도금의 한 공정으로 두껍게 도금하여 소재로 부터 도금층을 분리한다. 따라서 모재 (소재) 를 기반으로 많은 ...
  • 가격적으로 저렴하고, 작업환경상 문제가 없는 에르솔빅산을 환원로 하여, 전기화학적 분극측정에 따라, 금 Au 의 캐소드 환원반응, 환원제의 양극산화 반응에 관하여 검토
  • TCA
    비밀글입니다.
  • 초음파의 약 1/1000의 저주파로 진동에 의해 심한 유동을 발생시키어, 세정제를 심하게 교반하고, 진동과 유동을 동시에 만들어, 심한 3차원의 난류교반이 일어나다. 인버터...
  • 주석전기도금욕에서의 황산의 슬러지 발생억제를 검토하고, 산화방지제로서 특정의 다가 페놀을 도금액에 소량 첨가하여 실험하고, 황산욕을 이용한 주석도금 강판을 만...