로그인

검색

검색글 황산구리 11건
초미세 구리 Cu 배선의 미세구조와 저항율에 있어서 황산구리 순도의 영향
Effect of the Purity of the Copper Sulfate on the Microstructure and Resistivity of Very Narrow Cu Wires

등록 : 2014.06.24 ⋅ 4회 인용

출처 : 금속학회지, 75권 4호 2011년, 일어 6 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.11.25
순도가 다른 2종류의 황산구리로 건욕된 도금욕과 공칭순도 4N의 함인 구리양극을 이용한 구리배선을 형성하고, 배선저항율에 있어서 황산구리의 순도 영향을 밝히고, 각각 재료의 효과와 저항율 저감 메카니즘을 검토