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MEMS에 응용되는 무전해 니켈 도금을 이용한 마이크로 구조물의 제조
Fabrication of micro-structure with electroless nickel plating for MEMS applications

등록 : 2008.10.20 ⋅ 52회 인용

출처 : 한국부식학회지, 29권 1호 2000년, 한글 7 페이지

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 니켈/Ni | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2014.12.17
저온공정에 적용이 가능한 도금액을 제조하고, 여러가지 전처리 조건, 도금액과 도금조건에 따른 선택성에 대해서 고찰하였으며, 도금조건에 따른 도금속도와 도금피막의 성질에 대해서 고찰하여 최적 도금액의 제조와 도금막의 특성개선에 대한 여구

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