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구리의 전착에서 구리-억제제-염소착화의 흡탈착 전기화학 특성
Electrochemical Characterization of Adsorption-Desorption of the Cuprous-Suppressor-Chloride Complex during Electrodeposition of Copper

등록 : 2014.07.18 ⋅ 10회 인용

출처 : Electrochemical Society, 153권 4호 20006년, 영어 7 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.11
구리 금속화의 도금은 소량의 염화물, 억제기, 촉진제 및 레벨러를 포함하는 산성 황산구리 용액에서 이루어진다. 트렌치의 비아 충진은 용액내 첨가제간의 복잡한 상호작용으로 인해 발생한다. 여기에서는 가속기나 레벨러가 없는 용액에서 구리-억제제-염화물 복합체의 흡착/탈착에 대해 보고한다. 억제제 복합체의 탈착이...