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HIQSA 농도가 60nm급 다마신 공정의 무전해구리 도금에 미치는 영향
The Effect of the Concentration of HIQSA on the Electroless Cu Deposition during 60nm Level Damascene Process

등록 : 2014.08.11 ⋅ 22회 인용

출처 : 한국표면공학회, 2007년 추계학술대회, 한글 2 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

HIQSA(8-Hydroxy-7-iodo-5-quinoline sulfonic acid)

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분류 :
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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.11
무전해구리도금 공정에서 첨가제로 사용되는 HIQSA 화합물이 다마신 공정을 이용한 60 nm 급 trench 패턴 내 무전해구리배선 형성과정에 미치는 효과를 전기화학적 기법과 광학적 기법을 이용하여 관찰하였다. HIQSA 농도별 open circuit potential 의 변화를 관측한 결과, 3 ppm 수준으로 첨가되었을 때, 무전...

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