로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 11135건

습식도금 자료분류

자료수 11136 건

추천글

Tag LIST

HIQSA 농도가 60nm급 다마신 공정의 무전해구리 도금에 미치는 영향
The Effect of the Concentration of HIQSA on the Electroless Cu Deposition during 60nm Level Damascene Process

등록 2014.08.11 ⋅ 37회 인용

출처 한국표면공학회, 2007년 추계학술대회, 한글 2 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

HIQSA(8-Hydroxy-7-iodo-5-quinoline sulfonic acid)

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.11
무전해구리도금 공정에서 첨가제로 사용되는 HIQSA 화합물이 다마신 공정을 이용한 60 nm 급 trench 패턴 내 무전해구리배선 형성과정에 미치는 효과를 전기화학적 기법과 광학적 기법을 이용하여 관찰하였다. HIQSA 농도별 open circuit potential 의 변화를 관측한 결과, 3 ppm 수준으로 첨가되었을 때, 무전...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 무전해 구리 도금의 화학적 활성에 관한 연구
  2. 도금기술노트.. 무전해구리착화제
  3. 연구문헌자료.. 폴리도파민 코팅 및 은 촉매에 의한 셀룰로오스 종이의 구리 무전해 금속화
  4. 연구문헌자료.. Pd/Sn 콜로이드 활성화를 통한 ULSI 인터커넥트 제조를 위한 TiN의 무전해 Cu 석출 공정
  5. 연구문헌자료.. 팔라듐 활성화에 대한 비용 효율적인 대안 – 자동촉매 무전해 구리 석출에 대한 연구
  6. 연구문헌자료.. 초박형 플라즈마 보조 원자층 석출 팔라듐층을 갖춘 내화성 및 귀금속 소재의 무전해 구리
  7. 연구문헌자료.. 무전해 구리 도금 공정에서 발생하는 산업 폐수에서 킬레이트화된 구리 이온 제거를 위한 삼티오탄산나트륨의 사용
  8. 연구문헌자료.. 섬유 동도금방법
  9. 도금기술노트.. THEED
  10. 연구문헌자료.. 알칼리 프리 무전해 구리 도금에 있어서 결정 방향에 대한 계면활성제 첨가 효과
  • 염화제이철 용액에 의한 금속에칭의 기구해명을 직접분극거동으로 검토하여 연구
  • 스케일 · Scale 철을 압연 또는 주조 등의 과정에서 발생되는 표면의 산화성 물질을 말한다. 575 ℃ 이상 (고온 스케일) 에서 만든 산화물 층은 약 90~98 % 가 FeO (Wustite)...
  • 1950 년대 후반 미국 텍사스 인스트루먼트 사의 킬비와 페어차일드의 노이스에 의한 반도체 집적 회로의 발명하여 계산기를 시작으로, 비디오 게임기, 개인용 컴퓨터, 스마...
  • 에너지 스펙트럼 ^ Energy Spectrum [분석기기] 참고 wiki 방출스펙트럼
  • 친 이산화탄소기와 친수기를 동시에 지닌 비스 옥타푸르오르 펜타놀 설포석신산 소다 [bis (2,2,3,3,4,4,5,5- octafluoro -1- pentanol) sulfosucccinate Na] (F-AOT) 를 사...