로그인

검색

검색글 11127건
HIQSA 농도가 60nm급 다마신 공정의 무전해구리 도금에 미치는 영향
The Effect of the Concentration of HIQSA on the Electroless Cu Deposition during 60nm Level Damascene Process

등록 2014.08.11 ⋅ 37회 인용

출처 한국표면공학회, 2007년 추계학술대회, 한글 2 쪽

분류 연구

자료 있음(다운로드불가)

저자

기타

HIQSA(8-Hydroxy-7-iodo-5-quinoline sulfonic acid)

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2021.01.11
무전해구리도금 공정에서 첨가제로 사용되는 HIQSA 화합물이 다마신 공정을 이용한 60 nm 급 trench 패턴 내 무전해구리배선 형성과정에 미치는 효과를 전기화학적 기법과 광학적 기법을 이용하여 관찰하였다. HIQSA 농도별 open circuit potential 의 변화를 관측한 결과, 3 ppm 수준으로 첨가되었을 때, 무전...
  • 외부전류원 없이 수용액에서 금속분말의 도금이 제시된다. 금속분말은 갈바닉 치환반응 또는 균일 한 수용액 또는 슬러리에서 무전해도금을 통해 성공적으로 생산될수 있다....
  • 마그네슘 및 마그네슘 합금소재의 표면 조정 활성화제로 밀착력을 좋게하고 균일한 크로메이트를 생성하는 활성화제. 스머트의 발생이 없이 은백색의 활성화제로 연속보급사...
  • 품질우선의 니켈도금을 방해하는 오염물질은 제거하는 것이 적합하여, 과거에는 분말 활성탄의 프리코트등에 효과적으로 사용 되었지만 비효율적 이며 불편하여, 이제는 전...
  • 최근 발전된 무전해구리도금 조성 및 효과를 검토하고. 시안화물이 없는 무전해도금욕이 현재 개발되고 연구되고 있다.다양한 환경문제, 착화제, 환원제 및 첨가제...
  • En 도금은 외부 전력을 사용하지 않고 발생하는 수용액에서 여러가지 동시반응을 포함하는 화학 공정이다. 반응은 환원제 (차아인산나트륨) 에 의해 수소가 방출되고 산화되...