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황산구리 도금욕에서의 구리전석에 있어서 첨가제의 효과
Effect of Additives on Copper Electrodeposition from Copper Sulfate Bath

등 록 2016.01.29 ⋅ 38회 인용

출 처 일렉트로닉스실장확회, 23권 2009년, 일어 2 쪽

분 류 연구

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저 자

기 타 エレクトロニクス実装学術講演大会講演論文集 - 硫酸銅浴からの銅電析における添加剤の効果

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.01.03
트렌치와 비아의 전기도금에 의한 구리충전은 비아필링이라고 하고, 배선형성에 있어서 매우 중요한 과정이다. 첨가제를 포함하지 않는 욕에서 비아필링하면 트렌치와 비아를 구리로 완전히 충전하는 것은 곤란하지만, 여러 첨가제를 사용함으로써 비아필링이 달성된다. 비아필링에 사용되는 첨가제는 폴리에틸렌글리콜 ...

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