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알루미늄 에칭
Aluminium Etching

등록 : 2008.09.05 ⋅ 286회 인용

출처 : Microchemicals, 2009-12-15, 영어 3 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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MC1)

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자료요약
카테고리 : 경금속처리 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.02.21
일반적인 알루미늄 식각액에는 1~5 % HNO3 (Al 산화 용), 65~75 % H3PO4 (Al2O3 용해 용), 5~10 % CH3COOH (습식 및 완충 용) 및 주어진 온도에서 H2O 희석 혼합물이 포함되어 식각을 정의합니다. 알루미늄 에칭은 발열성이 높으며, 레지스트마스크의 언더에칭 (등방성 에칭으로 인해 불가피 함)은 교반이 수행되지 않을 경...

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