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검색글 C. Gabrielli 8건
다마신 공정에서 구리석출의 모델 - 도금욕의 에이징 응용
A Model for Copper Deposition in the Damascene Process - Application to the Aging of the Deposition Bath

등록 2011.07.29 ⋅ 57회 인용

출처 Electrochemical Society, 154권 1호 2007년, 영어 8 쪽

분류 연구

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저자

C. Gabrielli1) P. Moçotéguy2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto Sanz⁵)

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분류
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.11
구리 가속기 복합체의 존재뿐만 아니라 억제제와 가속기의 경쟁적 흡착을 고려한 다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되었다. 이 모델은 수퍼필링 구리도금조의 새로운 용액에 대한 전기화학 임피던스 분광법 및 DC 전압 류측정을 통해 실험적으로 검증 되었다. 이 논문에서, 동일한 모델이 구리도금중 도금조...
  • MEMS 를 위해 새로 개발된 무전해구리 도금 기술이 이 논문에 보고되었다. 무전해도금된 구리막이 실리콘 표면에 완벽하게 접착되도록 하기위해 이온주입 및 KOH 에칭과 결...
  • 전기주조는 본질적으로 매우 간단한 고유의 제조 방법이다. 이러한 단순성에도 불구하고 전기주조는 다른 제조방법이 문제가 있거나 비용이 많이 들거나 불가능한 상황에서 ...
  • 니켈 및/또는 아연오염은 니켈 및 아연에 대한 도금조의 내성 수준을 높여 침전제를 사용할 필요가 없도록 처리할수 있다. 본 발명은 아연 및/또는 니켈, 또는 화학식 RS로 ...
  • Zn-Mn 합금 피막을 산성 황산염 욕조에서 실온을 사용하여 연강 소재에 전착하였다. 음극에 따라 조성, 형태 및 구조가 다른 Zn-Mn 합금의 전착 가능성읃 발견하였다. 황산...
  • - 공정상 상시 모니터링이 가능하여 이상 발생시 신속히 대치 - 작업자의 노동력 감소 - 분석기의 다양한 출력과 메인 기기실에서 조정가능 - 적은 비용으로 유지보수와 비...