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다마신 공정의 구리도금 모델
A Model of copper deposition for the damascene process

등록 2011.07.29 ⋅ 40회 인용

출처 NA, NA, 영어 10 쪽

분류 해설

자료 있음(다운로드불가)

저자

C. Gabrielli1) J. Kittel2) P. Moçoteguy3) H. Perrot4) A. Zdunek5) P. Bouard6) M. Haddix7) L. Doyen8)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.15
다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되고 전기화학적 임피던스 측면에서 분석 된다. 실험 임피던스 결과는 염화물, PEG 및 MPSA를 포함하는 황산구리-황산욕및 산업용 구리 상호연결에 대한 이론과 비교 된다. 제안된 모델과 좋은 일치가 발견되었다.
  • 본 발명은 광택제 및 보다 매끄러운 전착을 촉진하기 위해 특정 첨가제의 조합을 구현하는 산성 전해질로 부터 구리의 전착에 관한 것이다. 더 밝고 매끄러운 도금을 촉진하...
  • 스케일 · Scale 철을 압연 또는 주조 등의 과정에서 발생되는 표면의 산화성 물질을 말한다. 575 ℃ 이상 (고온 스케일) 에서 만든 산화물 층은 약 90~98 % 가 FeO (Wustite)...
  • 이 장에서는 백금족 금속 및 합금도금에 대한 문헌에 설명된 무전해 (자가촉매) 공정을 검토하였다. 촉매제조를 위해 개발된 것과 같은 변위공정 및 특수 도금기술은 이러한...
  • 6가 크롬도금의 문제점 및 대체도금기술과 관련하여, 3가 및 6가크롬의 특징과 단점의 설명
  • Zn-Mn 코팅은 4-Hydroxybenzaldehyde(4-HB) 와 Ammonium Thiocyanate (NH4SCN)를 첨가제를 함유한 산성 염화물욕에서 철강소재에 전착하였다. 첨가제가 없는 도금 욕조에서 ...