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다마신 공정의 구리도금 모델
A Model of copper deposition for the damascene process

등록 2011.07.29 ⋅ 37회 인용

출처 NA, NA, 영어 10 쪽

분류 해설

자료 있음(다운로드불가)

저자

C. Gabrielli1) J. Kittel2) P. Moçoteguy3) H. Perrot4) A. Zdunek5) P. Bouard6) M. Haddix7) L. Doyen8)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.10.15
다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되고 전기화학적 임피던스 측면에서 분석 된다. 실험 임피던스 결과는 염화물, PEG 및 MPSA를 포함하는 황산구리-황산욕및 산업용 구리 상호연결에 대한 이론과 비교 된다. 제안된 모델과 좋은 일치가 발견되었다.

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