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검색글 Delia Nieto Sanzb 2건
구리 다마신 화학작용의 전기화학 임피던스 관찰
Electrochemical Impedance Monitoring of Copper Damascene Chemistries

등록 : 2011.07.29 ⋅ 66회 인용

출처 : NA, NA, 영어 14 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Alan Zduneka1) Delia Nieto Sanzb2) Claude Gabrielli3) Philippe Moçoteguy4) Hubert Perrot5) Hung Ming Chen6) Satish J. Parulekar7)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.02.07
초등각 도금을 통해 구리를 서브미크론 피처에 도금할수 있는 유망한 전기적특성과 기능은 구리전기도금 기술을 반도체 금속화 공정의 주류로 가져 왔다. 그러나 비아 및 트렌치에서 구리의 초등 각 도금을 수행하는 능력은 황산구리/황산 기반 전기도금조에 대한 특정 유기첨가제에 크게 좌우된다. 무결점 도금을 위해...
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  • Pavco’s Catachrome LHC process is the most easily controlled mixed catalyst system in the hard-chrome plating market. Offering high cathode efficiencies, Catachr...
  • 원자흡광법과 CVS 법에 의한 알칼리액중 미량금속 분석
  • 현재 일반적인 프린트 배선판은 동박과 절연소재를 접합한 동장 적출판에 도체 패턴을 프린트하여, 불필요 부분을 에칭하여 제거하는 방법이 이용된다.
  • 최근 개발된 고알칼리액을 이용한 볼탐메트릭법, 아노드 분극법, 전해발생-취소 부가법등 3가지 방법에 관하여 설명