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고속 전기 구리 도금에서 기둥 표면 형상 및 높이 균일성에 미치는 영향 인자
Factors Affecting Pillar Top Morphology and Height Uniformity on High Speed Copper Electroplating

등록 : 2023.01.02 ⋅ 36회 인용

출처 : 표면기술, 73권 7호 2022년, 일어 4 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

기타 :

高速電気銅めっきにおける
ピラー表面形状および高さ均一性に及ぼす影響因子

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2023.01.02
도금욕의 분극곡선으로부터 기둥 표면의 평탄화에 첨가제가 미치는 영향에 대해 검토를 실시하고, Wagner 수의 고찰로부터 도금 두께 균일성이 뛰어난 도금욕 조성에 대해서 설명하였다.