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다마센스 비아필링 공정의 MPS-PEG 2첨가제 시스템을 사용한 나노트윈드 구리의 펄스 전기도금
Pulse Electroplating of Nanotwinned Copper Using MPS-PEG Two-Additive System for Damascene via Filling Process

등록 2024.01.12 ⋅ 102회 인용

출처 Electrochemistry, 29권 8호 2023년, 영어 11 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2025.04.13
고밀도 나노트윈드 구리 피막을 최적화된 전해질로 펄스 전기도금하였다. 나노트윈드 형성에 영향을 미치는 요인인 MPS의 함량이 펄스 전기도금 공정 중에 전해질에 첨가하였다. MPS 없이 전기도금된 구리 피막은 입자는 크지만 나노트윈드는 몇 개 있는 것으로 나타났다. MPS 함량을 10 ppm 에서 40 ppm 까지 지속적으...
  • 항공기 강착장치의 재질 및 수리공정, 수치회복을 목적으로한 부분니켈, 경질크롬, 방식 수소취성방지를 목적으로한 카드뮴-티타늄 도금등 특이한 표면처리를 설명
  • 차아인산나트륨을 이용한 무전해 니켈-인 도금 중 고인계에서 비교적 온도가 낮은 욕에 대하여 연구하였다.! 말론산을 첨가제로 사용한 욕에서 도금을 실시한 결과, 65 ...
  • 구리의 갈바닉 침전을위한 도금욕이 개시된다. 구리도금 조성물은 하나 이상의 중합체 페나조늄 화합물 및 β- 나프톨 알콕실레이트를 포함한다. 구리도금의 증착을 위해 이...
  • 전기 니켈도금 시 붕산의 영향을 확인하기 의해 붕산의 투입량을 테스트 하고자 합니다 붕산이 과다할 경우와 부족할 경우 나타나는 현상이 있는지요? 붕산을 기준보다 과다...
  • 백금-몰리브덴 Pt-Mo 합금도금의 투과 전자현미경 검사는 세로 단면 샘플을 준비하기 위해 ultra- microtome 방법을 사용하여 수행하였다. 또한 마이크로 톰으로 금속을 절...