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산성구리 도금액중의 서프레서 첨가제의 측정
Determination of the Suppressor Additive in Acid Copper Plating Bath

등록 2009.05.19 ⋅ 82회 인용

출처 Deonix, Application Note 145, 영어 2 쪽

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자료요약
카테고리 : 시험분석 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2020.12.16
구리 전기도금 시스템은 반도체 웨이퍼에 구리를 도금하는데 사용한다. 산성구리 도금조의 주요 구성 요소는 황산구리, 황산, 염산이다. 독점적인 억제 첨가제가 구리 도금품질에 영향을 미치는 데 사용된다. 순환 전압전류법 박리 (CVS) 는 도금 품질에 대한 첨가제 및 부산물의 결합 효과를 측정하는데 널리 사용된다. 그...
  • 도금시료의 피로강도를 측정하기위하여 각종의 전해조건으로 만든 도금피막의 피로강도를 평가
  • 본 발명은 전기도금에 관한 것으로, 특히 도금 조건 및 전해질을 평가할 수 있는 배럴 도금 장치를 시뮬레이션하기 위한 전기도금 테스트 셀 및 방법에 관한 것이다.
  • 펄스도금을 시실할때, 전원의 선정, 장치의 설계등 실시화에 관하여, 특히 주의하여야 할 문제점과 대책등에 관하여 설명
  • 불소수지 · Fluoro resin 내약품성ㆍ내열성ㆍ윤활성이 특히 우수한 불소를 함유한 [엔지니어링플라스틱|엔지니어링 플라스틱]의 총칭으로, PTFE 의 생산량이 많다. 불소수지...
  • 전기 도금은 금속 이온 용액에 전류를 통과시켜 물체의 금속 층을 도금하는 방식이다. 물체의 모양은 금속 전착 속도에 중요한 영향을 미친다. 고전류부의 모서리 주변은 두...