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검색글 질화규소 2건
가열 촉매체상에 생성된 원자형 수소를 사용한 프라스틱 기판의 표면처리
Surface treatment of plastics substrates using atomic hydrogen generated on heated tungsten wire

등록 : 2008.09.29 ⋅ 38회 인용

출처 : 표면기술, 58권 12호 2007년, 일본어 5 쪽

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2021.01.07
각종 프라스틱 기판을 AHA 처리할때의 표면개질 및 그 위에 형성된 질화규소 SiNx 막의 밀착성과 막질의 효과에 관한 보고
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  • 최신의 반도체 배선재료는 저저항으로 고주파특성이 우수하기 때문에 알루미늄 대신 구리가 사용되고 있다. 부미크론 치수법의 트렌치와 비아에 매립용으로, 첨가제를 활용...
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