로그인

검색

표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

검색글 11108건

습식도금 자료분류

자료수 11109 건

추천글

Tag LIST

MEMS 무전해구리 도금의 기술
Technology of Electroless Copper Plating for MEMS

등록 2013.03.04 ⋅ 36회 인용

출처 NA, NA, 영어 6 쪽

분류 해설

자료 있음(다운로드불가)

저자

Yi Li1) Xiang Han2) Yilong Hao3) Guizhen Yan4) Wengang Wu5)

기타

자료

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 ⋅ ⋅
자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.02.17
MEMS 를 위해 새로 개발된 무전해구리 도금 기술이 이 논문에 보고되었다. 무전해도금된 구리막이 실리콘 표면에 완벽하게 접착되도록 하기위해 이온주입 및 KOH 에칭과 결합된 산소플라즈마 충격을 사용하여 실리콘 표면에 물리적 처리할 것을 제안한다. 구리피막의 두께와 시트 저항은 각각 1500 옹스트롬과 0.14 Ω/cm2 (...

연관글

  1. 연구문헌자료.. 무전해 구리 도금의 화학적 활성에 관한 연구
  2. 도금기술노트.. 무전해구리착화제
  3. 연구문헌자료.. 폴리도파민 코팅 및 은 촉매에 의한 셀룰로오스 종이의 구리 무전해 금속화
  4. 연구문헌자료.. Pd/Sn 콜로이드 활성화를 통한 ULSI 인터커넥트 제조를 위한 TiN의 무전해 Cu 석출 공정
  5. 연구문헌자료.. 팔라듐 활성화에 대한 비용 효율적인 대안 – 자동촉매 무전해 구리 석출에 대한 연구
  6. 연구문헌자료.. 초박형 플라즈마 보조 원자층 석출 팔라듐층을 갖춘 내화성 및 귀금속 소재의 무전해 구리
  7. 도금재료 카타록/TDS.. NB SEMIPLATE PD 200 / Pd electroplating process
  8. 연구문헌자료.. 무전해 구리 도금 공정에서 발생하는 산업 폐수에서 킬레이트화된 구리 이온 제거를 위한 삼티오탄산나트륨의 사용
  9. 연구문헌자료.. 섬유 동도금방법
  10. 도금기술노트.. THEED
  • 라크 재료의 전류효율 ^ Current Efficiency for Rack Materials 재료종류 전류효율 구리 알루미늄 황동 인청동 강 티탄 스텐리스강 1000 일때 600 250 180 120 31 23 참고 ...
  • 수산염피막처리 처리 액의 조성 : 수산염 인산염 또한 인산염은 인산아연 계, 인산망간 계, 인산철, 인산아연칼슘 계 기재 : 철강, 아연 알루미늄 효과 : 부식 방지 방수성,...
  • 소형부품 특히 전자부품의 도금에 요구되는 품질과 원가절감을 시작으로, 최근 응용되는 진동도금장치에 관하여 소개
  • 저렴한 금속 니켈 활성화 공정이 추천되어 다공성 알루미나 세라믹에 쉽게 적용되었다. 이 과정을 통해 금속성 니켈 나노입자가 알루미나 세라믹에 석출되고 촉매 활성 중심...
  • 아연분말코팅은 1970년 대말 미국에서 염수분무시험에서 120시간 이상의 내식성을 목표로 개발된 이후 1980년대 초와 1990년대 말에 유럽에서 그 기술이 한층 향상된 기술이...