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Pstation Data Box · 2019 ⋅ S.I.HONG ⋅
습식 표면처리 개발을 위한 연구/문헌 자료실 (로그인 필요) 이용을 환영합니다. 검색(로그인 필요)은 아래 내용을 참조하여 주시기 바랍니다. 외뢰어는 기본적으로 한글 표준 발음 (포리머 → 폴리머 / 알카리 → 알칼리)을 사용하였습니다. 많이 사용되는 용어는 일반관 용어 (Nickel → 니켈) / (신주 /...

3가크롬의 매끄러운 경질도금의 전착을 수행하기 위한 전착공정 및 욕을 설명하였다. 전착 공정은 에너지 효율적으로 수행된다. 욕은 크롬 공급원으로서 염화크롬, 크롬을 착화시키는 구연산, Triton x-100 인 습윤제를 포함한다. 브롬화물은 또한 양극에서 6가크롬 생산을 낮은 수준으로 유지하기 위해...

크롬/합금 · 미국특허 · 1989-4804446 · David S. Lashmore · Ilan Weisshaus 외 .. 참조 36회

무전해 구리시드층은 서브마이크론 웨이퍼 기술을 위한 전기도금의 후속 구리 금속화에 필수적이다. 이 층은 좋은 스텝 커버리지와 높은 균일성을 제공하기 위해 필요하다. 현재 작업에서 무전해 구리는 팔라듐에 의해 활성화된 TiN 표면에 도금되었다. 무전해구리 피막의 특성에 대한 도금시간의 영향...

구리/Cu · Thin Solid Films · 462-463 (2004) · Y.C. Ee · Z. Chen 외 .. 참조 24회

무전해도금으로 형성된 구리막의 결정 배향에 대한 계면활성제 첨가의 영향을 조사했다. 본 연구에서는 기존의 구리도금욕과 달리 무알칼리 구리도금욕을 사용하였다. 구리용액의 표면장력을 낮추기 위해 계면활성제로 Triton X-100 을 첨가했다. 계면활성제의 농도가 증가함에 따라 (111) 면의 x-선회...

구리/Cu · Physical Society · 33권 1998년 · 김양안 · 박종완 참조 69회