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다마신 공정에서 구리석출의 모델
A model for copper deposition in the damascene process

등록 : 2014.08.22 ⋅ 31회 인용

출처 : Electrochimica Acta, 51권 2006년, 영어 11 쪽

분류 : 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.12.02
좁은 트렌치를 채우는 것으로 알려진 구리도금은 임피던스측정에 의해 회전 디스크로 연구하였다. 이 도금액의 조성은 황산, 황산구리 및 염화물 이온, 광택제로서 폴리에틸렌 글리콜 (PEG) 및 촉진제로서 3-메르캅토 -1-프로판설폰산, 나트륨염 (MPSA) 이 포함되었다. 실험 결과로 이러한 유기첨가제를 사용한 모델과 비교 ...

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  • PMA
    PMA 성상 : 황색 액상 순도 : ≥ 50.0 % 용해 : 물에 용해 사용농도 : 10-80 mg/l 용도 : 니켈도금용 광택 레벨링제 참고 [니켈도금광택제|니켈도금 광택제] [도금광택제]
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