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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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미세회로 형성용 (L/S 5um 이하) 의 표면처리 기술
Introduction for Fine Line Patterning Technology such as Line and Space 5 Um using by surface Finishing Chemicals

등록 2015.08.03 ⋅ 21회 인용

출처 표면기술, 65권 8호 2014년, 일어 6 쪽

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저자

기타

微細回路形成用（L/S 5 μm以下）の表面処理技術

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자료요약
카테고리 : 인쇄회로 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2021.01.09
최첨단 분양에 있어서 L/S 5 μm 이하를 형성하는 제조기술 확립에 관한 배선재료와 주요용도 등에 관하여 설명

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