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다마신 공정에서 구리석출의 모델 - 도금욕의 에이징 응용
A Model for Copper Deposition in the Damascene Process - Application to the Aging of the Deposition Bath

등록 : 2011.07.29 ⋅ 36회 인용

출처 : Electrochemical Society, 154권 1호 2007년, 영어 8 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

C. Gabrielli1) P. Moçotéguy2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto Sanz⁵)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.11
구리 가속기 복합체의 존재뿐만 아니라 억제제와 가속기의 경쟁적 흡착을 고려한 다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되었다. 이 모델은 수퍼필링 구리도금조의 새로운 용액에 대한 전기화학 임피던스 분광법 및 DC 전압 류측정을 통해 실험적으로 검증 되었다. 이 논문에서, 동일한 모델이 구리도금중 도금조...
  • 라만 분광법 ^ Raman Spectrometer 적외선을 주사하면 자외선이나 가시광선에 비하여 에너지가 작기때문에 전이현상을 일으키지는 못하고, 대신 분자의 회전,진동,병진운동...
  • 전주법은 전기도금의 응용으로, 기본적사항과 특징에 대한 설명
  • 니켈-붕소 Ni-B 코팅은 높은 경도, 내마모성 및 적절한 부식방지 특성과 같은 적절한 특성을 가지고있어 자동차, 항공우주, 석유화학, 섬유 및 전자 산업에 적합하다. 이러...
  • 시안화물이 없는 금 도금은 무전해 금 도금에서 중요한 발전 방향이다. 그러나 일반적으로 Au(I) 기반의 시안화물이 없는 금 도금욕은 Ni-P 층과 도금조의 부식을 겪는다. ...
  • 경질도금 · Hard Plating 내마모성을 강화하기 위한 도금을 말 한다. 크롬도금ㆍ금도금ㆍ은도금 등에 내마모성을 증가하기 위한 별도의 첨가제를 가한 도금이라 할수 있다. ...