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다마신 공정에서 구리석출의 모델 - 도금욕의 에이징 응용
A Model for Copper Deposition in the Damascene Process - Application to the Aging of the Deposition Bath

등록 2011.07.29 ⋅ 48회 인용

출처 Electrochemical Society, 154권 1호 2007년, 영어 8 쪽

분류 연구

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저자

C. Gabrielli1) P. Moçotéguy2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto Sanz⁵)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.11
구리 가속기 복합체의 존재뿐만 아니라 억제제와 가속기의 경쟁적 흡착을 고려한 다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되었다. 이 모델은 수퍼필링 구리도금조의 새로운 용액에 대한 전기화학 임피던스 분광법 및 DC 전압 류측정을 통해 실험적으로 검증 되었다. 이 논문에서, 동일한 모델이 구리도금중 도금조...
  • 내마모성 경질크롬의 밀착층은 먼저 그러한 부품에 크롬층을 전기도금 한다음 부품을 약 1600~1900 'F 의 온도에서 열처리하여 티타늄 또는 티타늄합금 부품에 적용 된다.
  • 코발트 Co 전석막의 우선배향성에 관하여, 전해조건, 욕조성의 변화를 검토하고, Co 해석의 분극곡선을 측정하여 우선배향과의 관련을 고찰
  • 6가 크롬 전해질에는 크롬산과 황산이 포함되어 있다. 전해질은 또한 불화물 기반 또는 비불화물(독점) 2차 촉매를 사용할 수 있습니다. 이러한 구성 요소의 농도에 따라 도...
  • 실온에서 상이한 농도의 메탄을 함유하는 염산 HCl 및 황산 H2SO4 중 연강에서 메톨 (N-메틸-p-아미노페놀설페이트) 의 억제거동을 화학 및 전기화학적 방법으로 조사 하였...
  • HEEF® HMC 공정은 최신 독점 경질 크롬 공정에 비해 더 미세하고 조밀한 미세 균열 네트워크로 경질크롬도금을 생성하여 내식성이 우수합니다. 일반 경질 크롬 공정...