로그인

검색

검색글 10983건
다마신 공정에서 구리석출의 모델 - 도금욕의 에이징 응용
A Model for Copper Deposition in the Damascene Process - Application to the Aging of the Deposition Bath

등록 : 2011.07.29 ⋅ 39회 인용

출처 : Electrochemical Society, 154권 1호 2007년, 영어 8 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

C. Gabrielli1) P. Moçotéguy2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto Sanz⁵)

기타 :

자료 :

  • 관련자료가 없는 경우 관련사이트 또는 Web에서 검색하십시요.

분류 :
자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : goldbug | 최종수정일 : 2022.08.11
구리 가속기 복합체의 존재뿐만 아니라 억제제와 가속기의 경쟁적 흡착을 고려한 다마신 공정에서 구리도금 모델이 제안되었다. 이 모델은 수퍼필링 구리도금조의 새로운 용액에 대한 전기화학 임피던스 분광법 및 DC 전압 류측정을 통해 실험적으로 검증 되었다. 이 논문에서, 동일한 모델이 구리도금중 도금조...
  • 니켈이온 공급원, 유효량의 티오우레아, 유효량의 사카린, 차아인산염 이온, 하나이상의 킬레이트제, 선택적 기타첨가제를 포함한 무전해니켈도금조 및 이를 사용하여 소재...
  • 유전체 소재에 금속을 무전해 도금하려면 주석 Sn 이온의 안정화층으로 둘러싸인 금속 팔라듐 Pd 로 구성된 Pd-Sn 콜로이드와 같은 촉매를 사전에 처리해야 한다. 활성화단...
  • 스테인리스강은 녹이없는 강으로, 공업장치등의 일반 대중용품까지 폭넓게 이용되고 있다. 불수라는 스테인리스강도 심한부식이 일어나지 않는다면, 밀착성이 좋은 도금도 ...
  • 전주도금은 금속 또는 합금과 부품이 동일모양으로 동시에 생성되기 때문에 내부 냉각 열교환 장치 및 엔지니어링 구조를 제작하는데 탁월한 수단을 제공 한다. 우수한 기계...
  • 크랙프리-아몰포스 합금전석에 의한 상세한 검토를 하고, 도금의 기능성이라는 관점에서 아몰포스 아연-니켈 Zn-Ni 합금의 표면형태의 향상과 두꺼운 도금을 가능케하는 교...