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구리전착의 다마신 공정에 있어서 첨가제의 열화에 대한 양극의 영향
Influence of the Anode on the Degradation of the Additives in the Damascene Process for Copper Deposition

등록 2011.07.29 ⋅ 56회 인용

출처 Electrochemical Society, 154권 3호 2007년, 영어 7 쪽

분류 연구

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저자

C. Gabrielli1) P. Mocoteguy2) H. Perrot3) A. Zdunek4) D. Nieto-Sanz5)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.08
다마신 공정에서 구리도금 의 동역학 및 형태에 대한 용해성 및 불용성양극의 영향을 전압전류법 및 임피던스기술로 조사 하였다. 마이크로 전자산업에서 트렌치와 비아의 등각 수퍼필링을 제공하는 것으로 알려진 도금액이 사용되었다. 유리질 탄소양극을 사용하면 도금액이 더 빨리 분해되어 구리도금에 해로...
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