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염화제이철 용액의 스프레이 에칭 속도의 해석
Alalysis of spray etching rate of ferric chloride etchant

등록 2008.09.03 ⋅ 59회 인용

출처 표면기술, 43권 10호 1992년, 일본어 6 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 엣칭/부식 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2020.11.25
유량분석이 최고로 균등한 스프레이에 관하여 염화제이철 용액에 의한 에칭 속도를 해석할 목적의 연구