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세정공정에서의 오존층에서의 오증촌파괴와 대체세정
The ozone depletion and the alternative cleaning in the cleaning process

등록 : 2008.09.24 ⋅ 37회 인용

출처 : 한국표면공학회지, 제31권6호 1998년, 한글 10 페이지

분류 : 해설

자료 : 있음(다운로드불가)

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자료요약
카테고리 : 산세/탈지 | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2015.01.07
수계세정으로의 대체세정경험을 바탕으로 관련자료를 참조하여 대채새정법에 대한 장단점의 비교와 간단한 경험을 소개