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무전해 도금에 있어서 메르캅토 알킬 카복실산을 첨가한 구리 상향식 충전
Bottom-up copper fill with addition of mercapto alkyl carboxylic acid in electroless plating

등록 2021.12.11 ⋅ 20회 인용

출처 Electrochimica Acta, 51권 2006년, 영어 5 쪽

분류 연구

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 화양별곡 | 최종수정일 : 2022.12.02
3-메르캅토-프로피오닉 3-mercapto-propionic 과 같은 메르캅토 알킬 카복실산 mercapto alkyl carboxylic acid (MACA) 를 첨가한 상향식 무전해 구리 도금을 조사하였다. 산 (3-MPA), 11-메르캅토-운데칸산 (11-MUA) 및 16-메르캅토-헥사데칸산 (16-MHA)와 MACA 첨가 시 평면 표면의 구리 도금전착 억제가 관찰되었으며, 알...

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