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표면처리기술문헌 : 습식표면처리 연구문헌자료

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촠매 활성제로 팔라듐을 사용한 질화티타늄TiN 소재에 대한 무전해 구리 석출
Electroless Copper Deposition on Titanium Nitride Substrate using Palladium As a Catalytic Activator

등록 : 2008.09.04 ⋅ 32회 인용

출처 : na, na, 한글 4 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

오유진1) 박종호2) 안경희3) 조성민4) 정찬화5)

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.02.12
반도체 디바이스의 금속공정 중 구리의 무전해도금에 관한 연구로서 티타늄-질소 TiN 박막을 팔러듐 활성화로 표면활성화를 시킨후 그 위에 구리를 무전해도금으로 도금하였다. 구리 용액의 조성은 알칼리 금속이 배제된 용액으로서 도금 온도는 75 ℃ 이며 용액의 pH 는 12.5 이다. 30 분 정도 도금시간으로 평균 600nm ...
  • 실리콘 소재에 형성된 관통 비아 내에 습식 전해 도금을 이용하여 구리 전극을 성장 시키는 방법에 관한 것이다. 실리콘 관통 비아 내에 구리 관통 전극을 형성시 비아 상부...
  • 레니움 Re 은 뛰어난 특성 조합을 나타내는 내화성금속이다. 따라서 나노와이어 및 기타 합금 나노구조는 Re 화학과 나노미터 규모 모두에서 발생하는 고유한 특성을 가질 ...
  • 금속 재료 ㆍ Metal Materials 금속 재료 [아연]ㆍ[아연양극] [니켈]ㆍ[니켈양극] [크롬]ㆍ[불용성양극] [구리]ㆍ[구리양극]ㆍ[함인구리] [주석]ㆍ[주석양극] [양극] 참고 [...
  • 공전해 ^ Preplating Treatment (Dummy Plating) 도금욕의 관리를 목적으로 한 전해 방법으로, 크롬 도금의 최초 건욕에서 3가크롬을 생성하기 위한 전해, 니켈도금에서 구...
  • 지금까지 불가능한 색을가진 도금피막을, 다층도금처리로 제작하는 실험의 기초연구로서, 장식도금용으로 시판의 금-니켈 Au-Ni, 금-은 Au-Ag, 금-구리 Au-Cu 합금도금액을 ...