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구리 전착에 의한 비아 충진에 대한 디알릴아민형 공중합체 첨가제에 있어서 반대 이온의 효과
Effect of Counter Ions in a Diallylamine-type Copolymer Additive on Via-filling by Copper Electrodeposition

등록 : 2014.06.05 ⋅ 23회 인용

출처 : Electrochemistry, 82권 6호 2014년, 영어 8 쪽

분류 : 연구

자료 : 있음(다운로드불가)

저자 :

Minoru TAKEUCHI1) Yoshihiro ANAMI2) Yasutaka YAMADA3) Masaru BUNYA4) Shoko OKADA5), Naoki OKAMOTO6) Takeyasu SAITO7) Masayuki YOKOI8) Kazuo KONDO9)

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자료요약
카테고리 : 구리/합금 | 글입력 : GoldBuG | 최종수정일 : 2022.02.12
구리도금에 의한 비아필링 첨가제에 대한 이전 연구에서, 우리는 4가지 다른 첨가제의 기존 조합 대신 단일 디알릴 메틸아민 유형 첨가제를 사용하여 구리 도금에 의한 비아홀의 완전한 충진에 성공 하였다. 그러나 고분자 첨가제의 구조와 기능을 분석하는 작업은 아직 시작되지 않았다. 따라서 우리는 폴리머 ...

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