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248 nm 엑시머 레이져 지원 선택적 무전해 구리 도금 마이크로-코일
Selective electroless copper plating micro-coil assisted 248 nm excimer laser

등록 2008.11.19 ⋅ 55회 인용

출처 Microelectronic Engineering, 71권 2004년, 영어 10 쪽

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자료요약
카테고리 : 구리/Cu | 글입력 : 티타늄 | 최종수정일 : 2022.02.12
엑시머 레이저에 의해 생성되고 무전해 구리도금 용 반응물에 의해 활성화되는 마이크로 코일 패턴의 템플릿이 설명하였다. 생성된 마이크로 코일 패턴은 기판에서 구리패턴으로 변환되고 구리 미세 구조가 형성되었다. 이 방법은 기판에 구리 패턴을 형성하는 기존의 리소그래피 공정과 비교하여 기판에 회로를 만드는 제조...
  • 첨가제로 아미노산을 사용하여 니켈 Ni 피막을 와트욕에서 전기도금하여 제작하였다. 아미노산은 Ni 막구성, 표면 형태, 결정 구조, 경도 및 석출구조 영향을 주었다. 메티...
  • 설파미터 · Sulpha Meter 일본 야마모도 도금시험기 사의 크롬도금액중 황산분석용 원심분리기 상표명이다. 눈금이 있는 시험관에 1:1 염산과 30% 염화바륨을 첨가하여 발생...
  • 니켈 Ni2+ 의 착화제로서 트리에탄올아민을 첨가하고, 전석거동에 있어서 징케이트욕의 영향을 명확히 하기 위해 광택제는 첨가하지 않았다. 이 징케이트욕에서 아...
  • 전자부품의 고밀도화에 따라, 납땜볼의 접합강도부족이 지적되고 있다. 납땜볼용 접속단자로서 일반적으로 무전해니켈/금 Au 도금이 있다. 그러나 무전해 니켈도금은, ...
  • 금속 표면처리 약품의 제조와 수출을 이끄는 회사로 1960년 이후 각종염류, 방청유, 수처리 약품 / 산업욕 특수 약품을 생산한다